କାର୍ଟର ଖନନକାରୀ ପାଇଁ ଇଞ୍ଜିନ ପ୍ରେସର ସେନସର 2CP3-68 1946725 |

ଏକ ପ୍ରେସର ସେନସର ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ ଏକ ପଦ୍ଧତି, ନିମ୍ନଲିଖିତ ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକୁ ନେଇ ବର୍ଣ୍ଣିତ:

S1, ଏକ ପଛ ପୃଷ୍ଠ ଏବଂ ଏକ ଆଗ ପୃଷ୍ଠ ସହିତ ଏକ ୱେଫର୍ ପ୍ରଦାନ; ୱେଫରର ଆଗ ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ ପାଇଜୋରେସିଭ୍ ଷ୍ଟ୍ରିପ୍ ଏବଂ ଏକ ଭାରୀ ଡୋପଡ୍ କଣ୍ଟାକ୍ଟ ଏରିଆ ଗଠନ; ୱାଫରର ପଛ ପୃଷ୍ଠକୁ ଏକ ଚାପ ଗଭୀର ଗାତ ସୃଷ୍ଟି କରିବା;

S2, ୱେଫର୍ ପଛରେ ଏକ ସପୋର୍ଟ ସିଟ୍ ବାନ୍ଧିବା |

S3, ୱେଫରର ଆଗ ପାର୍ଶ୍ୱରେ ସୀସା ଛିଦ୍ର ଏବଂ ଧାତୁ ତାର ତିଆରି କରିବା, ଏବଂ ୱିଥଷ୍ଟୋନ୍ ବ୍ରିଜ୍ ଗଠନ ପାଇଁ ପାଇଜୋରେଷ୍ଟିଭ୍ ଷ୍ଟ୍ରିପ୍ ସଂଯୋଗ କରିବା;

S4, ୱେଫର୍ ର ଆଗ ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ ପାସିଭେସନ୍ ସ୍ତର ଜମା ଏବଂ ଗଠନ, ଏବଂ ଏକ ଧାତୁ ପ୍ୟାଡ୍ କ୍ଷେତ୍ର ଗଠନ ପାଇଁ ପାସିଭେସନ୍ ସ୍ତରର ଅଂଶ ଖୋଲିବା | 2. ଦାବି 1 ଅନୁଯାୟୀ ପ୍ରେସର ସେନ୍ସର ଉତ୍ପାଦନ ପଦ୍ଧତି, ଯେଉଁଠାରେ S1 ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଭାବରେ ନିମ୍ନଲିଖିତ ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକୁ ଧାରଣ କରିଥାଏ: S11: ଏକ ପୃଷ୍ଠପଟ ଏବଂ ଆଗ ପୃଷ୍ଠ ସହିତ ଏକ ୱେଫର୍ ପ୍ରଦାନ କରିବା, ଏବଂ ୱେଫର୍ ଉପରେ ଏକ ଚାପ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଘନତାକୁ ବ୍ୟାଖ୍ୟା କରିବା | S12: ୱେଫର୍ ର ଆଗ ପୃଷ୍ଠରେ ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ପାଇଜୋରେସିଭ୍ ଷ୍ଟ୍ରିପ୍ ଏକ ଉଚ୍ଚ-ତାପମାତ୍ରା ବିସ୍ତାର ପ୍ରକ୍ରିୟା ଦ୍ ured ାରା ଉତ୍ପାଦିତ ହୁଏ, ଏବଂ ଯୋଗାଯୋଗ ଅଞ୍ଚଳଗୁଡିକ ବହୁଳ ଭାବରେ ଡୋପ୍ ହୋଇଯାଏ | S13: ୱେଫର୍ ର ଆଗ ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ ପ୍ରତିରକ୍ଷା ସ୍ତର ଜମା ଏବଂ ଗଠନ; S14: ଏକ ଚାପ ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଗଠନ ପାଇଁ ୱେଫର୍ ପଛରେ ଏକ ଚାପ ଗଭୀର ଗୁହାଳ ସୃଷ୍ଟି କରିବା | 3. ଦାବି 1 ଅନୁଯାୟୀ ପ୍ରେସର ସେନ୍ସର ଉତ୍ପାଦନ ପଦ୍ଧତି, ଯେଉଁଠାରେ ୱେଫର୍ SOI |

1962 ରେ, ଟୁଫ୍ଟେ ଏବଂ ଅନ୍ୟମାନେ | ପ୍ରଥମ ଥର ପାଇଁ ଡିଫ୍ୟୁଜଡ୍ ସିଲିକନ୍ ପାଇଜୋରେସିଭ୍ ଷ୍ଟ୍ରିପ୍ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ଫିଲ୍ମ ଗଠନ ସହିତ ଏକ ପାଇଜୋରେଷ୍ଟିଭ୍ ପ୍ରେସର ସେନ୍ସର ଉତ୍ପାଦନ କଲା ଏବଂ ପାଇଜୋରେଷ୍ଟିଭ୍ ପ୍ରେସର ସେନ୍ସର ଉପରେ ଗବେଷଣା ଆରମ୍ଭ କଲା | 1960 ଦଶକର ଶେଷ ତଥା 1970 ଦଶକର ପ୍ରାରମ୍ଭରେ, ତିନୋଟି ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ଦୃଶ୍ୟ, ଯଥା, ସିଲିକନ୍ ଆନିସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ଏଚିଂ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି, ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଏବଂ ଆନାଡିକ୍ ବଣ୍ଡିଂ ଟେକ୍ନୋଲୋଜି, ପ୍ରେସର ସେନସରରେ ବହୁତ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଆଣିଥିଲା, ଯାହା ଚାପ ସେନସର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାରେ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ଭୂମିକା ଗ୍ରହଣ କରିଥିଲା ​​| । 1980 ଦଶକରୁ, ମାଇକ୍ରୋମାଚାଇନିଂ ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ପରବର୍ତ୍ତୀ ବିକାଶ ସହିତ ଯେପରିକି ଆନିସୋଟ୍ରୋପିକ୍ ଏଚିଂ, ଲିଥୋଗ୍ରାଫି, ଡିଫ୍ୟୁଜନ୍ ଡୋପିଂ, ଆୟନ ପ୍ରତିରୋପଣ, ବନ୍ଧନ ଏବଂ ଆବରଣ, ଚାପ ସେନସର ଆକାର କ୍ରମାଗତ ଭାବରେ ହ୍ରାସ ପାଇଛି, ସମ୍ବେଦନଶୀଳତା ଉନ୍ନତ ହୋଇଛି ଏବଂ ଆଉଟପୁଟ୍ ଅଧିକ ଏବଂ ଅଧିକ | ପ୍ରଦର୍ଶନ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଅଟେ | ସେହି ସମୟରେ, ନୂତନ ମାଇକ୍ରୋମାଚାଇନିଂ ଟେକ୍ନୋଲୋଜିର ବିକାଶ ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ରର ଚାପ ସେନସରର ଘନତାକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିଥାଏ |