ପାସାଟ ଇନ୍ଧନ ସାଧାରଣ ରେଳ ଚାପ ସେନସର 06E906051K ପାଇଁ ପ୍ରଯୁଜ୍ୟ |

1. ଏକ ପ୍ରେସର ସେନସର ଗଠନ ପାଇଁ ଏକ ପଦ୍ଧତି, ଏଥିରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:

ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଯୋଗାଇବା, ଯେଉଁଠାରେ ପ୍ରଥମ ଇଣ୍ଟରଲେୟର ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତର, ପ୍ରଥମ ଇଣ୍ଟରଲେୟର ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତର ଏବଂ ଦ୍ୱିତୀୟ ଇଣ୍ଟରଲେୟର ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଗଠିତ |

ପ୍ରଥମ ଇଣ୍ଟରଲେୟର ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତରରେ ଏକ ନିମ୍ନ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ପ୍ଲେଟ୍, ପ୍ରଥମ ମ୍ୟୁଚୁଆଲ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ନିମ୍ନ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ପ୍ଲେଟ୍ ସହିତ ସମାନ ସ୍ତରରେ ଅବସ୍ଥିତ ଏବଂ ପୃଥକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ |

ସ୍ତରଗୁଡିକ ସଂଯୋଗ କରିବା;

ନିମ୍ନ ପୋଲାର ପ୍ଲେଟ ଉପରେ ଏକ ବଳି ସ୍ତର ଗଠନ;

ପ୍ରଥମ ଇଣ୍ଟରଲେୟର ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତର, ପ୍ରଥମ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗ ସ୍ତର ଏବଂ ବଳି ସ୍ତର ଉପରେ ଏକ ଉପର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ପ୍ଲେଟ୍ ଗଠନ;

ବଳି ସ୍ତର ଗଠନ କରିବା ପରେ ଏବଂ ଉପର ପ୍ଲେଟ୍ ଗଠନ କରିବା ପୂର୍ବରୁ, ପ୍ରଥମ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗ ସ୍ତରରେ |

ପ୍ରଥମ ସଂଯୋଗ ସ୍ତର ସହିତ ବ r ଦୁତିକ ଭାବରେ ସଂଯୋଗ ହେବା ପାଇଁ ଏକ ସଂଯୋଗ ଗ୍ରୀଭ୍ ଗଠନ, ଏବଂ ଉପର ପ୍ଲେଟ୍ ସହିତ ସଂଯୋଗ ଗ୍ରୀଭ୍ ଭରିବା | କିମ୍ବା,

ଉପର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ପ୍ଲେଟ୍ ଗଠନ କରିବା ପରେ, ଉପର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ପ୍ଲେଟ୍ ଏବଂ ପ୍ରଥମ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗ ସ୍ତରରେ ସଂଯୋଗକାରୀ ଗ୍ରୀଭ୍ ଗଠନ ହୁଏ |

ଉପର ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ପ୍ଲେଟ୍ ଏବଂ ସଂଯୋଗ ଗ୍ରୀଭରେ ପ୍ରଥମ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗ ସ୍ତରକୁ ସଂଯୋଗ କରୁଥିବା ଏକ କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ସ୍ତର ଗଠନ;

ଉପର ପ୍ଲେଟ ଏବଂ ପ୍ରଥମ ଆନ୍ତ c- ସଂଯୋଗ ସ୍ତରକୁ ବ r ଦୁତିକ ଭାବରେ ସଂଯୋଗ କରିବା ପରେ, ବଳି ସ୍ତରକୁ ବାହାର କରି ଏକ ଗୁହାଳ ସୃଷ୍ଟି କରେ |

2. ଦାବି 1 ଅନୁଯାୟୀ ଏକ ପ୍ରେସର ସେନ୍ସର ଗଠନ କରିବାର ପଦ୍ଧତି, ଯେଉଁଠାରେ ପ୍ରଥମ ସ୍ତରରେ |

ଇଣ୍ଟରଲେୟର ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତରରେ ବଳି ସ୍ତର ଗଠନ କରିବାର ପଦ୍ଧତି ନିମ୍ନଲିଖିତ ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକୁ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ କରେ:

ପ୍ରଥମ ଇଣ୍ଟରଲେୟର ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତରରେ ଏକ ବଳି ସାମଗ୍ରୀ ସ୍ତର ଜମା କରିବା;

ଏକ ବଳି ସ୍ତର ଗଠନ ପାଇଁ ବଳି ସାମଗ୍ରୀ ସ୍ତରକୁ ନମୁନା କରିବା |

Claim ଦାବି ଅନୁଯାୟୀ ପ୍ରେସର ସେନସର ଗଠନ କରିବାର ପଦ୍ଧତି, ଯେଉଁଠାରେ ଫୋଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଏବଂ ଖୋଦ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ |

ବଳି ସାମଗ୍ରୀର ସ୍ତର ଇଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଦ୍ୱାରା ନମୁନା କରାଯାଇଛି |

4. ଦାବି 3 ଅନୁଯାୟୀ ଏକ ପ୍ରେସର ସେନ୍ସର ଗଠନ କରିବାର ପଦ୍ଧତି, ଯେଉଁଠାରେ ବଳି ସ୍ତର |

ପଦାର୍ଥ ହେଉଛି ଆମୋରଫସ୍ କାର୍ବନ୍ କିମ୍ବା ଜର୍ମାନିୟମ୍ |

5. ଦାବି 4 ଅନୁଯାୟୀ ଏକ ପ୍ରେସର ସେନ୍ସର ଗଠନ କରିବାର ପଦ୍ଧତି, ଯେଉଁଠାରେ ବଳି ସ୍ତର |

ପଦାର୍ଥ ହେଉଛି ଆମୋରଫସ୍ କାର୍ବନ୍;

ବଳିଦାନ ସାମଗ୍ରୀ ସ୍ତରକୁ ଇଚ୍ କରିବା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ଗ୍ୟାସ୍ ଗୁଡିକ O2, CO, N2 ଏବଂ Ar ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ କରେ;

ବଳିଦାନ ସାମଗ୍ରୀ ସ୍ତରକୁ ଖଣ୍ଡନ କରିବା ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି: O2 ର ପ୍ରବାହ ପରିସର ହେଉଛି 18 SCCM ~ 22 SCCM, ଏବଂ CO ର ପ୍ରବାହ ହାର 10% |

ପ୍ରବାହ ହାର 90 SCCM ରୁ 110 SCCM, N2 ର ପ୍ରବାହ ହାର 90 SCCM ରୁ 110 SCCM ଏବଂ Ar ର ପ୍ରବାହ ହାର ମଧ୍ୟରେ |

ପରିସର ହେଉଛି 90 SCCM ~ 110 SCCM, ଚାପ ପରିସର ହେଉଛି 90 mtor ~ 110 mtor, ଏବଂ ପକ୍ଷପାତ ଶକ୍ତି ହେଉଛି |

540w ～ 660w。